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（1）粉末制備技術

微波介質陶瓷粉末通常采用的是固相反應法合成，即將多種氧化物粉料混合、煅燒，經過機械研磨獲得粉體，具有設備、工藝簡單、易于工業化生產的優點。缺點在于此法難以獲取高純度的物相，且不能確保粉體成分分布的均勻性。此外，制備的粉體粒徑較大，反應活性較差還容易導致燒結溫度變高。

為避免傳統固相反應法的不足，出現了溶膠-凝膠法、熔鹽法、水熱法、共沉淀法、微乳液法等方法。

①溶膠-凝膠法（Sol-gel）：指金屬有機或無機化合物經過溶膠-凝膠化、干燥和煅燒形成氧化物或其他固體化合物的方法。

優點：相比固相法具有較低的陶瓷粉末合成溫度和陶瓷燒結溫度，避免了機械研磨過程引入雜質，且組分混合均勻。

缺點：制粉成本較高，工藝復雜。此法在何種條件下能促進陶瓷的致密化，改善材料的纖維組織，從而提高其微博介電性能，還有待進一步研究。

②熔鹽法：指通過在常規固相反應中引入低熔點鹽作為助溶劑來合成物質的一種新方法。低熔點鹽的引入導致合成過程中有液相出現，很大程度上加快了離子的擴散速率。

優點：工藝簡單、粉末合成溫度低、保溫時間短、合成粉體的化學成分均勻、產物的形貌易控制。

缺點：燒結過程中熔鹽的揮發容易對爐體造成污染，同時該法制備的微波介質陶瓷的介電性能普遍較低，原因尚需進一步研究。

③水熱法：基本原理是把在常溫常壓下不易被氧化的物質，以水溶液作為介質在密封的壓力容器中進行材料合成，粉體的形成經歷了一個溶解-結晶過程。

優點：近幾年發展起來的最合適規模生產陶瓷粉末的濕化學制備方法。

缺點：因陶瓷粉末的合成反應難以反應完全，殘留的雜相會使材料的微波介電性能急劇下降，改進方法還有待研究。

④共沉淀法：是利用各種組分元素的可溶性金屬鹽類，按一定比例匹配制成溶液，然后加入合適的沉淀劑，各類金屬離子形成均勻沉淀，通過調節溶液的濃度和pH值等來控制沉淀粉末的性能，將沉淀物煅燒得到組分均勻的氧化物混合體。

優點：與傳統方法相比工藝簡單，粉末成分均勻，且顆粒細小。此法制備微波介質陶瓷不僅能得到納米尺寸的陶瓷粉末，降低材料的燒結溫度，同時材料還保持了較好的微波介電性能，發展前景較好。

缺點：此法制得的粉末容易發生團聚，這會使粉末的燒結性能降低。

⑤微乳液法：是將反應物溶液在油類相、表面活性劑和表面活性劑的作用下形成熱力穩定、各相同性、外觀透明或半透明的分散體系。其中每個被表面活化劑和油類相包裹的液珠都是一個反應微胞團，然后將生成的納米顆粒從乳液狀中分離、清洗、干燥后即可得到細小均勻的粉末。

優點：采用該法能有效降低粉末的合成溫度和陶瓷燒結溫度，同時材料的微波介電性能變化不大。

缺點：由于需要使均勻分散在連續油相中的水相維持熱力學穩定，導致該法工藝比較復雜，限制了其應用。

（2）燒結技術

①常壓固相燒結：是在大氣條件下將坯體燒結的過程，是制備微波介質陶瓷最常使用的一種方法。

②微波燒結：具有加熱速度快、溫度場均勻、燒結時間短、高效節能等優點，能顯著改善材料的顯微組織，有利于微波介電性能的提高。

③放電等離子燒結：通過承壓導電模具加上可控脈沖電流對粉末進行燒結。該技術利用加熱和表面活化實現材料的超快速致密化燒結，且所得燒結晶粒均勻，致密度，可廣泛用于磁性材料、功能梯度材料、納米陶瓷、纖維增強陶瓷和金屬間化合物等一系列新型材料的燒結。

④反應燒結：指初始粉末間的化學反應和材料的致密化在同一加熱過程中完成的一種燒結方法。該法無需常規方法中的預燒階段，是獲得高致密陶瓷的一種簡單有效的方法。

（3）燒結助劑：對于難以燒結致密或要求低溫燒結的陶瓷體系，通常需要添加低熔點的氧化物或玻璃相等燒結助劑。燒結助劑在燒結過程中可以形成液相加速傳質，可改善陶瓷的燒結特性。但燒結助劑在燒結后往往在晶界富集、易使晶粒表層產生化學計量比偏離等晶格缺陷，并且還可能與基體反應生成第二相。此外，有些添加劑所含多價態離子在燒結過程中會產生變價，導致氧空位濃度改變，從而影響材料的微波介電性能。因此，選擇合適的燒結助劑十分重要。[3]