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氮化硅陶瓷加工設備

  • 氮化硅是在 19 世紀中葉被發現的，但由于其共價鍵合性質，因此并不易于制造。這最初導致了兩種類型的氮化硅的發展，即反應鍵合氮化硅 (RBSN) 和熱壓氮化硅 (HPSN)。隨后，自 1970 年代以來又開發了兩種類型：燒結氮化硅 (SSN)，包括賽隆，以及燒結反應鍵合氮化硅 (SRBSN)。

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